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第668章 精度再次突破的机会 【求订阅】(2 / 2)

用软件的方法建立机床数据模型,在计算机软件里论证好,再开始制造机床,速度快,研发成本还少了许多。国外都是用这种方法设计机床,而我们国内还没有这方面的研究,差距可想而知。

“嗯…许董的这个方法是比较好。我们还可以把试验数据库代入数据模型算法里。”洪爱国很显然已经听懂许振鸣的也是,激动的笑道。

不多时,他们来到一个恒温、无尘的试验车间。

这车间里有一个类似卧式加工中心的平台。平台上有两个安装工位的小平台,加工面非常光滑,用镜面来形容也不为过。

这座平台式的机构,就是光刻机的基础平台系统,上面将要安装两个工位。一个工位用来光刻硅晶圆片,一个工位用于检测晶圆片。

这种方式的加工方法,就叫双工光刻机,目前全球都没有这种设备。一鸣集团公司的这台KrF光刻机若是能研发成功,便是全球第一台双工位光刻机。

这事想想都让人激动,但实现起来难度非常大!

光刻机的基础平台对准精度特别高,要求做到0.003-0.01微米,全球有几家企业能做到?

是以,不要小看这台体积不是很大的光刻基础平台系统,每一个备件都加工件,精度要求都非常高。

许振鸣把李尧喊来,就是让他参与改进主传动机构的改进工作,把空气轴承应用到光刻机的平台里。

“我们集团公司正在做这种高精尖的设备吗?”听完许振鸣的介绍,李尧彻底震惊了。他是听许振鸣说过要做光刻机,但不知道光刻机的精度要求会如此之高。

0.003-0.01微米的重复定位精度是什么概念?用肉眼根本看出来有偏差,只能通过激光定位系统来测量误差。

而这种精度的测距仪器,国内目光好像还没有,只有一鸣集团公司利用进口元件制作了几套在使用。即便长弓集团公司这样的重点单位也没有,只能从一鸣集团公司来订购。

所以说,李尧根本没听说过,也没见过这种高精度的测量仪器。他满腹狐疑的看着许振鸣,心中暗道:“我们集团公司能做出这种精度的设备么?”

许振鸣好像能看懂李尧的内心想法。

“李尧,你不用管其他的问题,只要把空气轴承给我提供过来就行。光刻机的基座平台对震动量要求特别高,我们已经采用液压油系统来减震,跟流体轴承的原理非常相似。”

许振鸣朝李尧一挥手,让他不要把注意力放在其他地方。

他告诉李尧不要小看这种平台机构。通过液压油和空气室的缓冲机构,已经把平台运动时的震动量减少到最低限度。

听完这番介绍,李尧倒是给许振鸣提出一个好注意:“许董,按照流体力学的原理来说,我建议这台设备的减震系统全部用纯净级的液压油。空气和液压混用不合适,热膨胀系统不同,会影响精度。”

这方面的技术他比较内行,在发明流体轴承的时候,对各种流体介质都做过试验。

听到这话,洪爱国顿时来了精神。

“李总,你能不能把你的流体介质试验数据库给我们一份?若那样,我们会少走许多弯路。”他微笑着看向李尧,虽然知道自己的要求有点过分,却还是提出这种无理的要求。

这些流体介质试验数据是李尧十几二十年的心血,流体轴承专利技术的支持数据。一般情况下,李尧怎么肯能会跟他人分析数据?

所以说,洪爱国提出这个要求以后,也感到有点不好意思,目光又转向许振鸣。他希望许振鸣能帮他说句话,把李尧的数据拿到手。

但许振鸣怎么能说出这种要求?这跟桂长树问他要芯片Foundry的制程工艺技术一样,许振鸣会同意吗?

是以,许振鸣只能笑了笑,拿出手机准备给胡明镇打电话。他想要这台光刻机的设计人胡明镇来听听李尧的意见,把这台光刻机的传动机构原理和减震系统原理再修改一下。

这时候,李尧却做出一个让许振鸣的很意外的决策。

“好啊洪厂长,我回去以后就给你发传真,把流体介质的试验数据发给你。”他笑得很轻松,根本没有保守技术秘密的想法。

李尧的这番举措让许振鸣很感动,“我没看错人。多给这位书呆子型的工程师一些股份,是完全正确的。”

想到这些,许振鸣立即拨通胡明镇的手机号码,让胡明镇快点来数控机床厂的试验厂房里讨论技术问题。

不久以后,胡明镇带着几名团队人员,急匆匆的赶来。

他们这些人都面带喜色,好像碰到什么开心的事情。许振鸣也看出来了,因为有李尧在场,他没有多问。

“胡总,这位是李尧,流体力学的专家。他发明的流体轴承技术,应该属于世界一流的技术。”许振鸣把李尧介绍给胡明镇,让胡明镇一起加入技术讨论的团队。

总之一句话,因为光刻机的光源系统会延迟,这台KrF光刻机的基础系统可以重新设计,或者修改设计传动机构和减震系统。

听完这番介绍,胡明镇顿时喜滋滋的笑了起来,“李总,欢迎你给我们上课,传授流体力学的知识。”

说完这些客气话,他就不再客套了,把光刻机基础系统的图纸打开,请李尧一起审图,一起讨论技术问题。喜欢大国智能制造请大家收藏:(www.zeyuxuan.cc)大国智能制造泽雨轩小说网更新速度最快。

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