去年玄思科技公司这边加工出来的激光器件在加工后表面后那种波纹很难去除掉,产生的噪声还是比较大的,不过今年在使用了磁流变装置进行加工后这种波纹没有了,激光器件噪声降到了非常低的水平,器件性能有了质的提升。
玄思科技公司在光电材料和光电器件的设备和工艺技术现在可以说有了巨大的突破,让周晓东本人那是无比喜悦的。
他原本以为自己的技术团队至少要花个三五年才能取得重大的进展,不过因为技术团队在一些设备关键技术上的接连突破,一通百通,一下子打通了自身在光电产业技术上的众多关键环节。
这次大领导特意过来视察了解自己公司的情况,周晓东第一个邀请大领导视察的就是玄思科技公司。
杨力持见到周晓东旗下的玄思科技公司在光电材料和设备以及工艺技术上取得了如此多的重大突破,开心得合不拢嘴。
随后在星环科技公司公司进行视察参观的时候,杨力持见到光刻机生产线上正在批量生产这种沉浸式光刻机设备,更是欣喜不已。
“通过我们持续的技术改进升级,目前我们研制生产的这种光刻机设备技术算是比较成熟了,晶圆厂生产线那边反映这样的设备用起来顺手多了。”
周晓东开口说道:“另外罗志平博士带领的华微半导体公司研制的等离子体刻蚀设备也开始投入生产线当中进行测试试用,目前得到的各种数据显示这种设备技术性能非常优秀。”
“好好好,我们国内在芯片制造设备产业领域有了两种关键设备取得了如此大的突破,真是让我振奋不已呀!”
杨力持此时看着周晓东开口问道:“华微半导体科技公司去年才成立,是怎么做到这么快把设备开发出来的?”
周晓东笑着说道:“大领导,我旗下的几家公司技术研发团队分别承担了这种等离子刻蚀设备关键系统部件的研制工作,像我旗下的雅迪电子科技公司就承担了高精度电源转换、测量和控制系统等技术方案的研制工作。”
“亚迪电子科技公司方面专门为了这种等离子体刻蚀设备研制出来了射频电源系统,这种电源系统适精度非常高,用于半导体蚀刻、介电质蚀刻、沉积、溅镀、离子植入等半导体和等离子薄膜工艺设备上面都是可行的。”
周晓东开口说道:“亚迪电子科技公司是靠电源系统起家的,一直都是努力地为我们自身的关键型应用和工艺设备设计并制造先进精密的电源转换、测量和控制系统技术,华微半导体科技公司设计的这套设备用的就是这套高精度的射频电源系统,保证了这套设备的技术性能满足苛刻的加工要求。”
“其实我们自身研制的众多设备都搭载使用了亚迪电子科技研制的这些电源系统,我更希望亚迪电子科技研制的高精度电源系统可以为国内更多的半导体工业设备提供帮助,加快这些设备的研发速度。”
杨力持高兴地说道:“既然你们已经在这些关键技术系统上做得这么好了,中央方面当然是要大力支持的!”
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